Микроинженерии И микроэлектромеханических систем (MEMS)

<р> микроинженерии и системы Микроэлектромеханические (MEMS) имеют очень мало водонепроницаемые определения относительно своих подданных и технологий. Идите вперед, вы можете искать для него или вы можете взять свое слово. Микроинженерии может быть описана как методы, технологии и практики, участвующих в реализации сооружений и устройств с размерами порядка микрометра.

МЭМС часто ссылаются на механических устройств с размерами порядка микрометров, изготовленных с использованием методов, происходящих в интегральную схему (ИС) промышленности, с акцентом на основе кремния структур и интегральная микроэлектроника. Тем не менее, этот термин в настоящее время используется для обозначения гораздо более широкого круга microengineered устройств и технологий. Есть другие термины, широко используемые, которые охватывают ту же тему с несколько иной акцент. Microsystems технологий (МСТ) это термин, который обычно используется в Европе.

Акцент имеет тенденцию к развитию систем, а также использование различных технологий для изготовления компонентов, которые затем складываются в систему или устройство более особенностью МСТ, чем MEMS, где акцент стремится к кремния технологий.

<Р > В Японии, в частности, используется термин микромашины. Существует тенденция к миниатюризации машин, с меньшим акцентом на технологиях или материалов, используемых. Это не следует путать с микрообработке, процессы изготовления микроустройствах.

Наиболее строгое определение доступны была предложена британским правительством, которое определило термин микроинженерии, как работает, чтобы микрометра допуски. Аналогичное определение нанотехнологии была выдвинута. Хотя эти определения могут быть эффективно использованы для установки политики, например, они, как правило, приводит к некоторым аномалиям: очень большие точности инженерии компоненты, которые можно было бы не нормально рассмотреть, чтобы быть МЭМС были классифицированы как таковой.

По этой причине, определение, как правило, используется с квалификацией в технической литературе

<р> Мы можем назвать это следующая часть моей попробовать стандартизировать определения для этого микроинженерии и MEMS технологии:.

микроинженерии: Каталог

<р> Методы, технологии и практики, участвующие в реализации сооружений и устройств с размерами порядка микрометра

МЭМС

:

Microengineered приборы, преобразующие электрические и между любой другой формы энергии и полагаются в основ