, что лазерная система СО2 может быть построена и эксплуатируется более дешево. Тиллак указал на возможные сферы применения для EUVL, таких как микросхем флэш-памяти, которые станут плотнее. Представьте себе, в будущем в состоянии сделать 200 гигабайт флэш-диск памяти придерживаться дешево, сказал он. EUVL может сделать жесткие диски устарели. Мы не знаем, как сделать мощный источник света в этой части спектра до, добавил Тиллак, также заместитель директора UC San Diego Jacobs School инженера (От: HTTP: //www.china-computer-accessories.
COM /бай-инженер /) ь Центра энергетических исследований. Мы могли бы быть открытие новых путей для продвинутых источников света. Мы должны продолжать наши исследования и начать смотреть на других возможных применений. EUVL работа Тиллак была поддержана Cymer Inc. и университета Калифорнии в рамках Программы совместных исследований УНЦ отрасли университета.
